Ako funguje epitaxiálny rast?

Obsah:

Ako funguje epitaxiálny rast?
Ako funguje epitaxiálny rast?

Video: Ako funguje epitaxiálny rast?

Video: Ako funguje epitaxiálny rast?
Video: Princíp polovodičového tranzistora PNP (NPN) 2024, Marec
Anonim

Epitaxia, proces pestovania kryštálu určitej orientácie na vrchu iného kryštálu, pričom orientáciu určuje kryštál pod ním. Typickou aplikáciou tohto procesu je tvorba rôznych vrstiev v polovodičových doštičkách, aké sa používajú v integrovaných obvodoch.

Ako sa dosahuje epitaxiálny rast?

Metódy. Epitaxný kremík sa zvyčajne pestuje pomocou epitaxie v parnej fáze (VPE), modifikácie chemickej depozície z pár. Používa sa aj epitaxia s molekulárnym lúčom a kvapalná fáza (MBE a LPE), hlavne pre zložené polovodiče. Epitaxia na pevnej fáze sa používa predovšetkým na liečenie poškodenia kryštálov.

Aký plyn sa používa na epitaxiálny rast?

Počas cyklu epitaxného rastu sa predčistené pláty GaAs vložia do vertikálnej kremennej reaktorovej komory obsahujúcej horný zásobník elementárnej kvapaliny gálium , cez ktorý sa odmeriava bezvodý plynný HCl, tvoriaci GaCl3.

Ako sa používa epitaxná vrstva?

fotonické zariadenia

Pre efektívnu emisiu alebo detekciu fotónov je často potrebné obmedziť tieto procesy na veľmi tenké polovodičové vrstvy. Tieto tenké vrstvy narastené na objemových polovodičových doštičkách sa nazývajú epitaxné vrstvy, pretože ich kryštalinita zodpovedá kryštalinite substrátu, aj keď…

Aké sú kľúčové parametre, ktoré treba kontrolovať pri epitaxnom raste?

Proces rastu zahŕňa optimalizáciu hlavných parametrov, t.j. teploty, tlaku a prietoku plynu, aby sa získala úplná kontrola selektivity (t.j. polysilikónové nukleácie na ploche poľa), bočnej steny fazetovanie, generovanie defektov a autodoping.

Odporúča: